Régulation de la température pour la fabrication de wafers

Acquisition de pyromètres à l’aide d’une carte PC programmable

Mission

Lors de la fabrication d’un wafer, la plaquette subit une courbe de température qui doit être réglée afin de réduire le rebut de cette marchandise coûteuse. Comme il y a beaucoup de données et que le calcul est compliqué, une solution à base de PC est préférée. Les valeurs de 32 pyromètres (0 à 10 V) sont saisies au moyen de cartes PC analogiques avec un cycle de 1 ms. Pour le réglage des lampes de chauffage, un algorithme est effectué par le FPGA des cartes PC. Des sorties analogiques et numériques commandent et règlent ensuite les lampes de chauffage.

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Solution

La carte E/S analogique APCI-3120 pour le bus PCI a été sélectionnée pour la mesure de température et la régulation. L’APCI-3120 satisfait à toutes les exigences de ce cas : rapidité, précision, technologie FPGA pour délester le logiciel externe et disponibilité de longue durée. Grâce à de nombreux circuits de protection, elle convient particulièrement pour l’utilisation dans un environnement avec de multiples perturbations.